Det er tre hovedtyper av UV-lasere.
Diodepumpet solid state laser
Den første er en diodepumpet solid-state laser (DPSS) Nd: YAG Q-Switch, der dupliseringskrystaller brukes til å endre den infrarøde bølgelengden på 1064 nm og bytte den til bølgelengden til den ultrafiolette på 355 nm.
Formen på strålen er gaussisk, så flekken vil være rund og med energiintensiteten som gradvis avtar fra sentrum og ut mot kanten. Strålen kan fokuseres på flekker i størrelsesorden 10 µm.
I prinsippet, som alle faststofflasere, er disse ultrafiolette laserne følsomme for temperaturendringer.
Den høye repetisjonshastigheten på operasjonen og det svært lille området de opererer på, gjør disse laserne til de mest egnede for mikrobearbeiding.
Excimer laser
Den andre typen UV-laser er en gasslaser, excimer-laseren. Bølgelengden til denne laseren avhenger av typen gassblanding som brukes og varierer fra 180 nm til over 300 nm.
Den genererte strålen er ikke rund, men har en rektangulær form med en mer eller mindre konstant intensitetsfordeling. Masker kan brukes til å generere spesifikke punktgeometrier.
Metallisk damplaser
Den tredje typen UV-laser er metalldamplaseren. Kobberdamplaseren er den mest brukte, selv om damper av mange andre metaller også kan brukes.
Kobberdamplasere genererer stråling ved en bølgelengde på 511 nm og 578 nm. Formen på strålen er gaussisk, noe som gjør laseren egnet for samme bruksområde som en solid-state ultrafiolett laser.